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| 金属镍微型静电马达的观察 | |
| 引用本文： | 唐圣明,陈思琴.金属镍微型静电马达的观察[J].电子显微学报,1996,15(6):516-516. |
| 作者姓名： | 唐圣明 陈思琴 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 摘 要： | 金属镍微型静电马达的观察唐圣明陈思琴王效东（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）微电子机械学是近年来国际上新兴的一门学科。它把微电子工业中的许多加工技术引入到微机械零件的制造中，从而批量制造各种微型的机械零件，直至微型机械人。本文所介绍的金属... |
| 关 键 词： | 金属镍 微型 静电电机 微电子机械学 |
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