| Ag、A1掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 秦秀娟,王佳宁,卜立敏,孙丽,孟惠民,刘日平.Ag、A1掺杂对ZnO薄膜结构和光学性能的影响[J].兵器材料科学与工程,2008,31(5). |
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| 作者姓名： | 秦秀娟 王佳宁 卜立敏 孙丽 孟惠民 刘日平 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;燕山大学环境与化学工程学院,河北,秦皇岛,066004;燕山大学环境与化学工程学院,河北,秦皇岛,066004;北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室,河北,秦皇岛,066004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河北省社会科学基金 |
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| 摘 要： | 采用两种溶胶一凝胶工艺在普通玻璃基片上制备Ag:znO和AI:ZnO薄膜,通过XRD、UV-Vis吸收谱等分析方法,研究掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜的组织结构和光学性能的影响.分析表明:掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构的影响因成胶工艺不同而有差异.但掺杂离子对ZnO薄膜光学性能的影响结论是一致的.即Al3 离子掺杂显著减小了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度增大,紫外一可见光吸收边出现蓝移.Ag 离子掺杂增大了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度减小,紫外一可见光吸收边出现红移.
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| 关 键 词： | 掺杂ZnO薄膜 溶胶—凝胶法 结构特性 光学特性 |
Effect of Ag and A1 doping on structure and optical properties of ZnO thin fllms |
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| QIN Xiu-juan,WANG Jia-ning,BU Li-min,SUN Li,MENG Hui-min,LIU Ri-ping.Effect of Ag and A1 doping on structure and optical properties of ZnO thin fllms[J].Ordnance Material Science and Engineering,2008,31(5). |
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| Authors: | QIN Xiu-juan WANG Jia-ning BU Li-min SUN Li MENG Hui-min LIU Ri-ping |
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