| 谐振式低速气体流速微传感器的理论建模 |
| |
| 引用本文： | 陈健,陈德勇,王军波. 谐振式低速气体流速微传感器的理论建模[J]. 仪器仪表学报, 2007, 28(5): 804-806 |
| |
| 作者姓名： | 陈健 陈德勇 王军波 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| |
| 摘 要： | 首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器,用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系,给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系,推导这种微传感器在测量低雷诺数气体流动时的理论模型,得到气体流速与谐振子固有频率偏移的关系。使用有限元分析来评估这种设计,其结果表明,当气体的雷诺数低于1时,这种传感器的输入与输出成线性关系,其灵敏度达到1．6 Hz/（cm·s^-1）。
|
| 关 键 词： | 微机械电子系统 谐振式气体流量传感器 粘滞系数 有限元模拟 |
| 修稿时间： | 2006-04-01 |
Theoretical modeling of resonant low-velocity gas flow microsensor |
| |
| Chen Jian,Chen Deyong,Wang Junbo. Theoretical modeling of resonant low-velocity gas flow microsensor[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2007, 28(5): 804-806 |
| |
| Authors: | Chen Jian Chen Deyong Wang Junbo |
| |
| Affiliation: | State Key Lab. of Transducer Tech., Inst. of Electronics, Chinese Academy of Science ,Beijing 100080, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MEMS resonant gas flow sensor drag coefficient FEA simulation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
