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振膜压力传感器
作者姓名:
于振毅
摘 要:
振膜传感器可用于多种参数的测量,特别是压力参数的测量。它的基本原理和其它类型振动传感器的基本原理一样。这种传感器有一个共振腔,腔的顶端为一个膜片,内腔压力使它产生变形。膜片上的两个支撑托架将振膜固定在拾振元件和激振元件之间。通常,振膜的振动是通过振荡—放大器和电磁激振器来维持的。膜片在其内腔压力作用下产生变形,而使其上面的支撑托架之张角发生变化,也就使振膜的张紧状态发生
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