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| 电调整微蚀刻 | |
| 引用本文： | 丁志廉. 电调整微蚀刻[J]. 印制电路信息, 2006, 0(8): 34-35,59 |
| 作者姓名： | 丁志廉 |
| 摘 要： | 评述了采用电调整微蚀刻试验表明,它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造。比起常规喷射蚀刻工艺来,其侧蚀小、蚀刻因子和tanθ高的效果。 |
| 关 键 词： | 电调整微蚀刻 直流电蚀刻 侧蚀 蚀刻因子 侧壁正切角 |
Electrically Mediated Microetching |
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| Ding Zhilian. Electrically Mediated Microetching[J]. Printed Circuit Information, 2006, 0(8): 34-35,59 | |
| Authors: | Ding Zhilian |
| Affiliation: | Ding Zhilian |
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| Keywords: | |
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