集成电路失效分析方法与技术探究 |
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引用本文: | 张阳.集成电路失效分析方法与技术探究[J].电子世界,2013(19):22-23. |
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作者姓名: | 张阳 |
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作者单位: | 飞思卡尔半导体(中国)有限公司 |
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摘 要: | 集成电路的应用十分广泛,随着集成电路向着更小工艺尺寸,更高集成度方向发展,集成电路失效分析扮演着越来越重要的角色。一块芯片上集成的器件可达几千万,要想找到失效器件实属大海捞针,因此进行集成电路失效分析必须具备先进、准确的技术和设备,并由具有专业知识的半导体分析人员开展分析工作。
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关 键 词: | 集成电路 失效分析 电性分析 物理分析 |
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