洁净室的湿度控制

在过去的几十年中,微电子工业市场连同与之相关的工艺都获得了令人瞩目的发展。当微电子市场飞跃发展,并不断被突破时,半导体微芯片的制造工艺日益都在变化。当电路系统的尺寸已经达到被许多人认为是最小极限时,制造工艺的周围环境质量已成为生产成功的关键问题。 通过HEPA高效空气过滤器以及工艺过程水净化,人们更加重视洁净室杂质的控制。洁净室的湿度控制在为半导体生产提供