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| 扩展的PECVD应用于大面积太阳能电池制造 | |
| 基金项目： | 致谢：本文作者感谢应用材料太阳能事业部Ankur Kadam、David Tanner、Chris Eberspacher、Tae Kyung Won、Soo Young Choi和John White的帮助. |
| 摘 要： | 基于非晶硅（a—Si：H）和微晶硅（μc—Si：H）的薄膜太阳能电池模块日渐成为低成本、大规模光伏（PV）应用的最佳选择。这类模块的吉瓦级产品需要大面积的均匀吸收层，同时也需要很高的吸收层的沉积速度。 |
| 关 键 词： | 太阳能电池 PECVD 面积 应用 制造 电池模块 沉积速度 吸收层 |
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