电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用 |
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引用本文: | 汤儆,毛秉伟,田中群. 电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 192-196 |
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作者姓名: | 汤儆 毛秉伟 田中群 |
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作者单位: | 固体表面物理化学重点实验室,化学系,福建,厦门,361005 |
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基金项目: | 科技部863计划资助项目(2002AA404170) |
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摘 要: | 概述了在固/液界面微/纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微镜(SECM)在应用于微/纳米加工时的基本原理和各种方法,并综合比较和分析了这三种技术的优缺点。
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关 键 词: | 电化学扫描探针显微镜 表面微加工 纳米加工 电化学 工作原理 针尖诱导法 |
文章编号: | 1671-4776(2003)07/08-0192-05 |
修稿时间: | 2003-05-15 |
Micro-and nano-fabrication by EC-SPM |
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