| 非同步采样法的光栅纳米测量 |
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| 引用本文： | 徐从裕,余晓芬. 非同步采样法的光栅纳米测量[J]. 计量学报, 2008, 29(4): 293-296 |
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| 作者姓名： | 徐从裕 余晓芬 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,安徽,合肥,230009;合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,安徽,合肥,230009 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家自然科学基金，安徽省高等学校省级重点试验室资助项目，合肥工业大学研究生科技创新基金 |
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| 摘 要： | 光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数.基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅信号采样精度,选用市场上货源丰富的、低成本的扫描式多通道模数转换卡,即可实现光栅纳米测量所需的高倍数细分.在测量的启停时刻对光栅信号进行精确测量,在测量过程中对光栅信号进行快速跟踪测量.实验表明,当采用15位200 kHz的A/D转换卡对20 μm栅距的光栅信号进行非同步采样时,可以得到小于1 nm的测量分辨率及大于120 mm/s的测量速度.
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| 关 键 词： | 计量学 光栅纳米测量 非同步采样 数据处理 分辨率 |
Grating Nanometer Measurement Based on Asynchronous Sampling Method |
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| XU Cong-yu,YU Xiao-fen. Grating Nanometer Measurement Based on Asynchronous Sampling Method[J]. Acta Metrologica Sinica, 2008, 29(4): 293-296 |
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| Authors: | XU Cong-yu YU Xiao-fen |
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