| 产品可靠性测试失效的预分析 |
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| 引用本文： | 刘云海,简维廷,张荣哲,董伟淳. 产品可靠性测试失效的预分析[J]. 中国集成电路, 2009, 18(12): 51-55 |
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| 作者姓名： | 刘云海 简维廷 张荣哲 董伟淳 |
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| 作者单位： | 中芯国际,上海,201203 |
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| 摘 要： | 产品可靠性测试的失效分析是半导体失效分析的重要也是极具挑战性的部分。而物性失效分析前的预分析（包括电性失效分析）又是整个产品可靠性失效分析中的关键步骤。充分和合理的预分析是提高物性失效分析成功率的重要保障。本文主要根据不同的产品可靠性测试的失效类型和机理来介绍常用的预分析方法和手段，并通过具体的实例图片来阐述预分析的重要作用。将预分析融合于产品可靠性失效分析中，将取得事半功倍的效果。
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| 关 键 词： | 产品可靠性 无损失效分析 电性失效分析 物性失效分析 |
Pre-Failure Analysis for Product Reliability Test Rejects |
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| Grant Liu,Wei-Ting Kary Chien,Venson Chang,Walden Dong. Pre-Failure Analysis for Product Reliability Test Rejects[J]. China Integrated Circuit, 2009, 18(12): 51-55 |
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| Authors: | Grant Liu Wei-Ting Kary Chien Venson Chang Walden Dong |
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