| 基于蓝绿光Micro-LED的可见光通信芯片调制带宽研究 |
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| 引用本文： | 王轩,陶涛,刘斌,许非凡,梁师豪,苗涛,刘晓燕,智婷,谢自力,张荣,郑有炓.基于蓝绿光Micro-LED的可见光通信芯片调制带宽研究[J].半导体光电,2021,42(4):469-473, 487. |
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| 作者姓名： | 王轩 陶涛 刘斌 许非凡 梁师豪 苗涛 刘晓燕 智婷 谢自力 张荣 郑有炓 |
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| 作者单位： | 南京大学电子科学与工程学院,南京210046;南京邮电大学电子与光学工程学院,南京210023;南京邮电大学微电子学院,南京210023;南京大学电子科学与工程学院,南京210046;厦门大学,福建厦门361005 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目(2017YFB0404101)；国家自然科学基金项目(61974062,62074077,62004104)；江苏省自然科学基金项目(BK20180747)；江苏省基础研究计划项目(BK20202005)；固态照明与节能电子学协同创新中心项目；中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(021014380168).通信作者:陶涛,刘斌 |
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| 摘 要： | 基于氮化镓微米LED(Micro-LED)的可见光通信(Visible Light Communication,VLC)技术成为近年来的研究热点.通过深紫外光刻技术制备了小尺寸的氮化镓基蓝/绿光Micro-LED芯片,深入研究了40～10μm不同尺寸Micro-LED器件的性能,以及其作为VLC光源的调制带宽能力.研究发现,随着LED器件尺寸的缩小,其调制带宽显著增加.通过在电极间加入电磁屏障以及对LED器件侧壁进行钝化修复,直径为10 μm的绿光Micro-LED亮度可达1×108 cd/m2,直径为20 μm的蓝光Micro-LED的调制带宽可达372.6 MHz.研究结果表明,基于氮化镓的Micro-LED芯片在调制带宽上仍有较大的提升空间,经过进一步的研究,有望推动高速可见光通信的系统应用.
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| 关 键 词： | 可见光通信(VLC) Micro-LED 调制带宽 氮化镓 |
| 收稿时间： | 2021/4/21 0:00:00 |
Study on Modulation Bandwidth of Blue-green Micro-LEDs for Visible Light Communication |
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| WANG Xuan,TAO Tao,LIU Bin,XU Feifan,LIANG Shihao,MIAO Tao,LIU Xiaoyan,ZHI Ting,XIE Zili,ZHANG Rong,ZHENG Youdou.Study on Modulation Bandwidth of Blue-green Micro-LEDs for Visible Light Communication[J].Semiconductor Optoelectronics,2021,42(4):469-473, 487. |
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| Authors: | WANG Xuan TAO Tao LIU Bin XU Feifan LIANG Shihao MIAO Tao LIU Xiaoyan ZHI Ting XIE Zili ZHANG Rong ZHENG Youdou |
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| Affiliation: | School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing 210046, GHN;College of Electronics and Optical Engineering;School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing 210046, GHN;College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | visible light communication (VLC) Micro-LED modulation bandwidth GaN |
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