| 非晶硅微测辐射热计热学和光学分析 |
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| 引用本文： | 李世彬,吴志明,蒋亚东,李伟,廖乃镘. 非晶硅微测辐射热计热学和光学分析[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 1721-1724 |
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| 作者姓名： | 李世彬 吴志明 蒋亚东 李伟 廖乃镘 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
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| 摘 要： | 通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系,辐射功率和桥面温升之间的线性关系,并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证.根据光学导纳矩阵法,利用MatLab软件模拟微测辐射热计对红外线的吸收率,结果表明微测辐射热计对8～13μm波段红外有很好的吸收率.分析结果为微测辐射热计的研制提供了可靠依据.
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| 关 键 词： | 微测辐射热计 非晶硅 微桥 有限元 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1721-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
Thermal and Optical Analysis of Amorphous Silicon Micro-bolometer |
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| LI Shi-bin,WU Zhi-ming,LI Wei,JIANG Ya-dong,LIAO Nai-man. Thermal and Optical Analysis of Amorphous Silicon Micro-bolometer[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 1721-1724 |
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| Authors: | LI Shi-bin WU Zhi-ming LI Wei JIANG Ya-dong LIAO Nai-man |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bolometer amorphous silicon micro-bridge FEA |
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