| 光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究 |
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| 引用本文： | 钟娟娟,陈才和,张燕君,吴波,崔宇明,丁桂兰.光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究[J].传感技术学报,2004,17(4):651-654. |
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| 作者姓名： | 钟娟娟 陈才和 张燕君 吴波 崔宇明 丁桂兰 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 提出一种新型声光波导相位调制技术,用于光电集成M-Z光波导干涉型加速度计的信号调制.相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上,工作波长为1.3 μm.主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计,结果为:氧化锌薄膜尺寸5×0.8×0.003 mm,叉指换能器叉指对数N=17,中心距l=27.19 μm,中心频率f0=48 MHz,中心指长L0=4.46 mm.
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| 关 键 词： | 光波导 声光调制 声表面波(SAW) 相位调制 叉指换能器 氧化锌薄膜 |
| 文章编号： | 1004-1699(2004)04-0651-04 |
| 修稿时间： | 2004年7月13日 |
Study of the Waveguide Phase Modulator of the Photo - Electronic
Integrated Accelerator Driven by a SAW |
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| ZHONG Juanjuan,CHEN Caihe,ZHANG Yanjun,WU Bo,CUI Yuming,DING Guilan.Study of the Waveguide Phase Modulator of the Photo - Electronic
Integrated Accelerator Driven by a SAW[J].Journal of Transduction Technology,2004,17(4):651-654. |
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| Authors: | ZHONG Juanjuan CHEN Caihe ZHANG Yanjun WU Bo CUI Yuming DING Guilan |
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| Affiliation: | ZHONG Juan juan,CHEN Cai he,ZHANG Yan jun,WU Bo,CUI Yu ming,DING Gui lanCollege of Precision Instrument and Opto electronics Engineering,Tianjin University,Key Laboratoryof Opto electronics Information Technical Science of EMC,Tianjin 300072,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical waveguide acoustooptic modulate surface acoustic wave (SAW) interdigital transducer(IDT) phase modulation ZnO thin film |
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