光栅尺动态误差检测与补偿技术研究

针对光栅尺检测装置在检测系统误差来源分析多基于理论分析，缺少对检测系统关键部件的定量标定，而且，现有检测装置在光栅尺运行速度等光栅尺实际工作状况方面考虑不够全面的现状，设计一种基于高精密气浮导轨的光栅尺动态误差检测装置，对检测装置的各关键部件引起的检测误差进行试验定量标定，并基于该装置对光栅尺在不同速度下的动态运行误差进行试验研究。试验结果表明，光栅尺的加速度对其动态运行误差影响较大，对运行速度影响却有限，而且各运行速度下光栅尺动态精度具有较好的重复性。通过回归分析的方法得出了光栅尺的全程误差补偿曲线，通过误差补偿大幅提高了光栅尺的测量精度和适用范围。