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| 用于高级DRAM测试的单次触压、全晶圆探针 | |
| 作者姓名： | Verigy |
| 摘 要： | 1Td300全晶圆探卡是一款用于高级DRAM存储器件单次触压、高容量测试的探卡，该产品使用专有的全晶圆架构和基于MEMS的ACCU-TORQ弯曲探针进行非常平滑的单次触压测试。该产品能够对300mm或200mm晶圆进行高并行测试（highly parallel testing）。每探针只需要2g压力就能够测试整个300ram晶圆，1Td300探卡提供了双重优势，不仅能够降低对被测晶圆和整个测试台的压力，同时允许更高的引脚数，以拓展半导体测试范围， |
| 关 键 词： | 容量测试 DRAM 晶圆 探针 产品使用 存储器件 MEMS 并行测试 |
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