| 精确高效的渐变结构片上螺旋电感的电感值分析技术 |
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| 引用本文： | 罗天星,石艳玲,丁艳芳,唐深群,刘贇,王勇,朱骏,陈寿面,赵宇航. 精确高效的渐变结构片上螺旋电感的电感值分析技术[J]. 半导体学报, 2006, 27(9): 1616-1620 |
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| 作者姓名： | 罗天星 石艳玲 丁艳芳 唐深群 刘贇 王勇 朱骏 陈寿面 赵宇航 |
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| 作者单位： | 华东师范大学信息学院电子系,上海 200062;传感技术联合国家重点实验室,上海 200050;华东师范大学信息学院电子系,上海 200062;传感技术联合国家重点实验室,上海 200050;华东师范大学信息学院电子系,上海 200062;华东师范大学信息学院电子系,上海 200062;华东师范大学信息学院电子系,上海 200062;华东师范大学信息学院电子系,上海 200062;上海集成电路研发中心,上海 201203;上海集成电路研发中心,上海 201203;上海集成电路研发中心,上海 201203 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 上海市青年科技启明星计划 , 上海市应用材料研究与发展基金 |
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| 摘 要： | 与传统的金属线宽和间距固定不变的无源片上螺旋电感相比,线宽和间距由外圈到内圈渐变的新型结构电感能有效提高电感品质因子.这种新结构电感的出现使得Jenei等人提出的闭合电感公式已不再适用于其电感值的计算,而改进的wheeler公式计算误差又较大.针对这种情况,文中提出了一种以圈为单位分圈迭代求自感,用整体平均法计算互感的平面螺旋电感的电感值计算方法.该算法分析值与HFSS仿真值相比,误差小于3%,与样品测量值相比,误差小于4%.因此该算法具有计算速度快、精度高的特点,能用于渐变结构片上螺旋电感的高效设计,并可缩短设计周期.
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| 关 键 词： | 平面螺旋电感 分圈迭代算法 渐变结构电感 渐变结构 片上螺旋电感 电感值 分析技术 Space Width Metal Gradually Spiral Inductors Arithmetic 设计周期 可缩 精度 计算速度 算法分析 量值 样品 计算误差 仿真 HFSS |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)09-1616-05 |
| 收稿时间： | 2006-01-13 |
| 修稿时间： | 2006-04-26 |
An Accurate Arithmetic for On-Chip Spiral Inductors with Gradually Changed Metal Width and Space |
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| Luo Tianxing,Shi Yanling,Ding Yanfang,Tang Shenqun,Liu Yun,Wang Yong,Zhu Jun,Chen Shoumian and Zhao Yuhang. An Accurate Arithmetic for On-Chip Spiral Inductors with Gradually Changed Metal Width and Space[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2006, 27(9): 1616-1620 |
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| Authors: | Luo Tianxing Shi Yanling Ding Yanfang Tang Shenqun Liu Yun Wang Yong Zhu Jun Chen Shoumian Zhao Yuhang |
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| Affiliation: | Department of Electron,East China Normal University,Shanghai 200062,China;State Key Laboratory of Transducer Technology,China Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Department of Electron,East China Normal University,Shanghai 200062,China;State Key Laboratory of Transducer Technology,China Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;Department of Electron,East China Normal University,Shanghai 200062,China;Department of Electron,East China Normal University,Shanghai 200062,China;Department of Electron,East China Normal University,Shanghai 200062,China;Department of Electron,East China Normal University,Shanghai 200062,China;Shanghai IC Research and Development Center,Shanghai 201203,China;Shanghai IC Research and Development Center,Shanghai 201203,China;Shanghai IC Research and Development Center,Shanghai 201203,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | planar spiral inductor iterative arithmetic inductors with gradually changed width and space |
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