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| 厚膜压力传感器温度补偿与调理方法研究 | |
| 作者姓名： | 陈建群 马以武 |
| 作者单位： | 中国科学院合肥智能机械研究所(陈建群)，中国科学院合肥智能机械研究所(马以武) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目资助(批准号:60374050) |
| 摘 要： | 考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性。 |
| 关 键 词： | 温度补偿 信号调理 厚膜压力传感器 |
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