| X-RAY镀层测厚仪检测及校正方法浅析 |
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| 引用本文： | 司卫征,梅文华,古志行. X-RAY镀层测厚仪检测及校正方法浅析[J]. 计量与测试技术, 2017, 44(1). DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2017.01.003 |
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| 作者姓名： | 司卫征 梅文华 古志行 |
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| 作者单位： | 广州计量检测技术研究院,广东广州,510030 |
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| 摘 要： | 基于X-RAY荧光光谱方法的基础理论,简单分析了能量散射X-RAY荧光光谱分析法的工作原理,通过对准直器尺寸、测量时间、应用程式、基材等参数的选择,分析了X-RAY镀层测厚仪检测及校正的方法。结果表明,检测校正后的X-RAY镀层测厚仪,测量结果的相对误差、相对标准差小,且该方法对企业生产具有指导意义。
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| 关 键 词： | X-RAY镀层测厚仪 标准片 校正方法 相对误差 相对标准差 |
Study on Methods of Testing and Correcting of X-Ray Coating Thickness Gauge |
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| Si Weizheng,Mei Wenhua,Gu Zhixing. Study on Methods of Testing and Correcting of X-Ray Coating Thickness Gauge[J]. Metrology and Measurement Technique, 2017, 44(1). DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2017.01.003 |
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| Authors: | Si Weizheng Mei Wenhua Gu Zhixing |
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