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| Vistec看好08年中国半导体市场 | |
| 摘 要： | 前身徕卡微系统的Vistec半导体系统公司目前供应宏观缺陷检测、缺陷评估与分类工具、光掩膜量测,以及电子束直写与光掩膜制作系统。Vistec半导体系统事业部产品经理Andreas Machura表示,浸没式光刻技术的应用给工艺控制带来了新的挑战, |
| 关 键 词： | 复合半导体 掩膜 光刻技术 微系统 缺陷检测 工艺控制 电子束直写 缺陷评估 制作系统 半导体系统 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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