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MPCVD多晶金刚石薄膜的生长特性研究
引用本文:鲁占灵,马孝田,姚宁,崔娜娜,田永涛.MPCVD多晶金刚石薄膜的生长特性研究[J].工业金刚石,2010(1):53-56.
作者姓名:鲁占灵  马孝田  姚宁  崔娜娜  田永涛
作者单位:[1]郑州大学材料科学与工程学院,郑州450001 [2]郑州大学教育部材料物理重点实验室,郑州450052
摘    要:本文用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在单晶硅衬底上制备多晶金刚石薄膜,反应气体为CH4和H2。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱研究了CH4流量和反应时间对多晶金刚石薄膜形貌和碳结构的影响。结果表明:随着CH4流量的增加,金刚石的成核密度增加,并出现二次形核,金刚石颗粒从单晶逐渐转变为多晶结构。多晶金刚石薄膜的生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成非晶碳层,金刚石在非晶碳层上成核长大,并伴随着二次成核,最终形成多晶金刚石膜。

关 键 词:多晶金刚石薄膜  MPCVD  生长特性  化学气相沉积系统  单晶硅衬底  Raman光谱  成核密度  微波等离子
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