| 低温共烧多层AlN陶瓷基片 |
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| 引用本文： | 吴音,缪卫国,刘耀诚,周和平. 低温共烧多层AlN陶瓷基片[J]. 材料研究学报, 1998, 12(2): 139-143 |
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| 作者姓名： | 吴音 缪卫国 刘耀诚 周和平 |
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| 作者单位： | 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!6939120－2 |
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| 摘 要： | 介绍由高热导率ＡｌＮ陶瓷与金属Ｗ制备的低温共烧多层ＡｌＮ基片，研究了以Ｄｙ２Ｏ３为主的添加系统对低温烧结ＡｌＮ性能，显微结构的影响。
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| 关 键 词： | 低温共烧 多层迭片 热导率 显微结构 氮化铝陶瓷 |
| 收稿时间： | 1998-04-25 |
| 修稿时间： | 1998-04-25 |
LOW TEMPERRTURE COFIRED AIN MULTILAYER SUBSTRATES |
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| WU Yin,MIAO Weiguo,LIU Yaocheng,ZHOU Heping. LOW TEMPERRTURE COFIRED AIN MULTILAYER SUBSTRATES[J]. Chinese Journal of Materials Research, 1998, 12(2): 139-143 |
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| Authors: | WU Yin MIAO Weiguo LIU Yaocheng ZHOU Heping |
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| Affiliation: | WU Yin,MIAO Weiguo,LIU Yaocheng,ZHOU Heping(Depart.of Materials and Engineering of Tsinghua University,Beijing ) |
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| Abstract: | A kind of low temperature cofired AIN multilayer substrates was introduced which consist of high thermal conductivity of AIN ceramics and metal W. The influence of doping system with Dy2O3 on the low temperature AIN characteristics and microstructure was |
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| Keywords: | aluminum nitride low temperature cofire multilayer substrate thermal conductivity |
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