|
|||||
|
|
| 激光诱导微纳连接技术研究进展 | |
| 作者姓名： | 王联甫 丁烨 王根旺 管延超 王扬 杨立军 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨150001 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划(2017YFB1104900)；;中国博士后科学基金(2020M670900)；;黑龙江省博士后面上(LBH-Z20054)； |
| 摘 要： | 随着航空、电子以及能源技术的发展,以低维度纳米材料为功能单元的复杂电子设备和系统趋向于柔性化和微型化,这一过程依赖于纳米材料间的高质量连接.微纳材料自身的尺寸及结构限制使得传统的热退火、机压成型、化学处理和电子束辐照等方法难以在构筑有效连接的同时避免非连接区域的损伤,而激光加工则由于其聚焦光斑尺寸小,单色性好和便于精确... |
| 关 键 词： | 激光 微纳连接 纳米颗粒 纳米线 纳米薄膜 透明电极 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |