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| 水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅钝化特性研究 | |
| 作者姓名： | 李士正 许佳辉 叶晓军 柳翠 袁晓 李红波 |
| 摘 要： | 该文主要研究水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅薄膜的影响.通过在臭氧中掺杂少量水作为混合氧化剂,有效降低了原子层沉积二氧化硅薄膜内部碳和氮杂质元素的含量,并提高其成膜速率及薄膜质量;同时,水的掺杂还能够适当提高二氧化硅薄膜内部及其与硅界面处的氢元素浓度,使其具有更强的氢钝化效果.臭氧中掺杂水制备的二氧化硅薄膜能够在较低的... |
| 关 键 词： | 原子层沉积 氧化硅 硅太阳电池 表面钝化 固定正电荷 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |