| Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器研究 |
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| 引用本文： | 胡建东,林志立. Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器研究[J]. 光电子．激光, 2007, 18(3): 310-313 |
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| 作者姓名： | 胡建东 林志立 |
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| 作者单位： | 河南农业大学电气工程系,河南,郑州,450002;浙江大学光电信息工程系,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 采用熔融拉锥机,制作了具有均匀腰锥的H2敏传感器结构.拉锥长度设定为9 000 μm,拉锥速度0.1 mm/s,火焰高度为3 mm,拉锥后光纤的腰锥体处的均匀直径为30 μm.用电子束蒸发装置在拉锥光纤均匀锥段表面上生长H2敏Pd-Ag合金薄膜,镀膜室内真空度为2.9×10-3Pa,束流为0.35 A/s,沉积时间为10 min,膜厚为50 nm.设计了拉锥光纤H2敏传感器的实验装置,测试数据表明:Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器能够精确检测低于4%的H2浓度,适合于单点或多点分布式H2泄漏探测.
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| 关 键 词： | 拉锥光纤传感器 H2传感器 Pd-Ag合金膜 |
| 文章编号： | 1005-0086（2007）03-0310-04 |
| 收稿时间： | 2006-05-07 |
| 修稿时间： | 2006-05-072006-07-18 |
Technique Study of a Tapered Fiber Hydrogen Sensor Based on Pd-Ag Alloy Thin Film |
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| HU Jian-dong,LIN Zhi-li. Technique Study of a Tapered Fiber Hydrogen Sensor Based on Pd-Ag Alloy Thin Film[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2007, 18(3): 310-313 |
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| Authors: | HU Jian-dong LIN Zhi-li |
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| Affiliation: | 1. Department of Electrical Engineering, Henan Agricultural University, Zhengzhou 450002, China; 2. Department of Optical Engineering,Zhejiang University, Hangzhou 310027,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tapered fiber sensor H2 sensor Pd-AN alloy thin film |
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