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| 微间隙击穿性能的研究 | |
| 作者姓名： | 吴冲若 樊玉薇 |
| 摘 要： | 本文对微米量级微间隙的电击穿性能进行了研究,在制作出微间隙试样的基础上,改变徽间隙所处环境气氛以及间隙距离,测试了不同条件下的击穿电压V相对于气体压强P关系曲线,系统研究了N_2、O_2、Ar、He、Nc等环境气氛以及间隙距离对微间隙击穿性能的影响.对微间隙的静电击穿机制也进行了一些有益的探讨. |
| 关 键 词： | 微电机 转子 定子 微米量级 微间隙 电击穿 |
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