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| 涂层与薄膜 | |
| 引用本文： | 付江民.涂层与薄膜[J].材料保护,2000,33(12):55-56. |
| 作者姓名： | 付江民 |
| 摘 要： | ２０００１２０１ 原位退火时磁控溅射Ｎｄ１Ｂａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ薄膜的影响——Ｍｏｒｉ Ｚ．Ｔｈｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｆｉｌｍｓ，１９９９，３５４（１～２）：１９５（英文） ＮｄＢａ２Ｃｕ３３Ｏ７－δ（ＮＢＣＯ）薄膜经原位退火后，薄膜质量得到改善。用单靶直流磁控溅射方法在 ＭｇＯ（１００）上制备 ＮＢＣＯ薄膜，沉积后将薄膜冷却至室温，然后在４００ＰａＯ２气氛中，将沉积室温升高至３５０－６００℃，保温０．５～８０．０ ｈ。经此处理后，薄膜的超导性能以及电阻率、粗糙度明显改善。原位退火后可提高薄膜Ｃ轴向零电阻温度… |
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