| CVD金刚石膜激光切割工艺研究 |
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| 引用本文： | 王亚 汪建华 王传新 王俊峰. CVD金刚石膜激光切割工艺研究[J]. 武汉化工学院学报, 2005, 27(2): 53-55 |
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| 作者姓名： | 王亚 汪建华 王传新 王俊峰 |
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| 作者单位： | 武汉化工学院材料科学与工程学院，武汉化工学院材料科学与工程学院，武汉化工学院材料科学与工程学院，武汉化工学院材料科学与工程学院 湖北武汉430074，湖北武汉430074，湖北武汉430074，湖北武汉430074 |
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| 基金项目： | 湖北省科技攻关计划(2002A105A02) |
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| 摘 要： | 研究了焦点位置、光栏、输出能量对金刚石切割的影响．结果表明采用Nd：YAG激光器切割金刚石膜时，焦点处于切割膜的中部时，切缝最小；加光栏后，有利于减小切割宽度，提高断面质量；对于一定厚度的金刚石膜，应选择最小的、一次能切透金刚石膜的激光输出能量。
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| 关 键 词： | Nd：YAG激光器 金刚石膜 切割 |
| 文章编号： | 1004-4736(2005)02-0053-03 |
| 修稿时间： | 2004-11-22 |
The research on laser cutting technology of CVD diamond film |
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| WANG Ya,WANG Jianhua,WANG Chuanxin,WANG Junfeng. The research on laser cutting technology of CVD diamond film[J]. Journal of Wuhan Institute of Chemical Technology, 2005, 27(2): 53-55 |
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| Authors: | WANG Ya WANG Jianhua WANG Chuanxin WANG Junfeng |
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| Abstract: | Diamond film was cut by a joint laser machine which is made by Chutian Laser.The primary factors that impair the qualities are focus position,diaphragm,electric current which were studied. An ideal condition of ablation for diamond film was discussed. |
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