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电磁六极透镜的磁场分布
引用本文:木崇俊,窦菊英.电磁六极透镜的磁场分布[J].电子学报,1997,25(12):112-115.
作者姓名:木崇俊  窦菊英
作者单位:云南大学物理系
摘    要:本文叙述了一种可用于电子显微镜不差矫E系统的电磁六极透镜的磁场分布研究结果。研究工作系统实验测定磁场分布和理论分析相结合的方法,给出了六极透镜磁感应强度各分量的数值和近似公式,特别着重分析了六极边缘区域的磁场分布情况。

关 键 词:电磁六极透镜  磁感应强度  边缘效应  电子显微镜

The Magnetic Field Distribution of an Electeomagnetic Sextupole
Abstract:In this paper some studying results of the magnetic field distribution of an electromagneticalsextupole applying to a system for correction of spherical aberration in round electron lens are described. Measurement data of the magnetic induction in every coordinates in the sextupole and thier approximate formulas forideal and practical sextupole are given by combining experimental measurements and theoretical analyses. Themagnetic field distribution at the edge of the sextupole is discussed in more detail.
Keywords:Electromagnetical sextupole  Magnetic induction  Edge effect
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