| MEMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究 |
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| 引用本文： | 杨晓光,姚伯威,张丽丽. MEMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究[J]. 微计算机信息, 2006, 22(14): 205-207 |
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| 作者姓名： | 杨晓光 姚伯威 张丽丽 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 |
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| 摘 要： | MEMS技术的进一步发展依赖于MEMS器件计算机辅助设计的发展和水平的提高。系统级仿真和多能量场耦合是MEMS器件计算机辅助设计的核心环节。提出了一种MEMS器件设计的参考方法,并对系统级仿真这一难点做了深入阐述。
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| 关 键 词： | 系统级仿真 多能量场耦合 |
| 文章编号： | 1008-0570(2006)05-2-0205-03 |
| 修稿时间： | 2005-09-10 |
The Research for MEMS Device Computer-aided Design Method and Simulation |
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| Yang Xiaoguang,Yao Bowei,Zhang Lili. The Research for MEMS Device Computer-aided Design Method and Simulation[J]. Control & Automation, 2006, 22(14): 205-207 |
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| Authors: | Yang Xiaoguang Yao Bowei Zhang Lili |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS CAD |
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