| 兰州重离子加速器前束线真空系统改造 |
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| 引用本文： | 周利娟,吴德忠,胡振军.兰州重离子加速器前束线真空系统改造[J].真空与低温,2002,8(2):115-120. |
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| 作者姓名： | 周利娟 吴德忠 胡振军 |
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| 作者单位： | 中国科学院,近代物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 介绍了兰州重离子加速器 (HIRFL)前束线真空系统的基本结构 ,给出了HIRFL前束线真空系统改造前的流导、气体负荷及压力分布情况。提出了具体的改造方案。使真空系统达到了设计要求 :泵口压力小于 5× 10 -6Pa ,两泵中心平面压力小于 1× 10 -5Pa。结果表明HIRFL前束线真空系统的改造方案是可行的
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| 关 键 词： | 有效抽速 压力梯度 溅射离子泵 |
| 文章编号： | 1006-7086(2002)02-0115-06 |
| 修稿时间： | 2001年12月20 |
THE UPGRADE OF THE VACUUM SYSTEM OF THE PRE-BEAM LINE OF HIRFL |
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| ZHOU LI-juan,WU De-zhong,HU Zhen-jun.THE UPGRADE OF THE VACUUM SYSTEM OF THE PRE-BEAM LINE OF HIRFL[J].Vacuum and Cryogenics,2002,8(2):115-120. |
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| Authors: | ZHOU LI-juan WU De-zhong HU Zhen-jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | virtual volume flow rate pressure gradient sputtering ion pump |
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