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| MOVPE生长Ga（CH3）3—AsH3—H2体系中砷的形态转化及砷的治理 | |
| 引用本文： | 闻瑞梅,梁骏吾.MOVPE生长Ga（CH3）3—AsH3—H2体系中砷的形态转化及砷的治理[J].电子学报,1997,25(2):76-78,88. |
| 作者姓名： | 闻瑞梅 梁骏吾 |
| 摘 要： | 在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３－ＡｓＨ３－Ｈ２体系中在５００Ｋ－１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度。同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的治理设备，对尾气进行治理，治理后的尾气含砷量含量符合国家排放标准。 |
| 关 键 词： | 气相外延 热力学分析 砷 治理 尾气 |
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