| 微测辐射热计用氧化钒薄膜制备及特性 |
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| 引用本文： | 茹国平,曹永峰,李炳宗. 微测辐射热计用氧化钒薄膜制备及特性[J]. 微细加工技术, 2002, 0(4): 45-53,65 |
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| 作者姓名： | 茹国平 曹永峰 李炳宗 |
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| 作者单位： | 复旦大学微电子学系,上海,200433 |
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| 摘 要： | 热敏薄膜电阻制备是非致冷微测辐射热计红外焦平面的一项关键技术。对目前在非致冷微测辐射热计研制中得到成功应用的氧化钒薄膜的特性、制备及表征技术进行综述。氧化钒存在多种物相和结构 (VOx:0
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| 关 键 词： | 微测辐射热计 制备 氧化钒 电阻温度系数 溅射 热敏薄膜电阻 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)04-0045-09 |
Preparation and Characteristics of Vanadium Oxide Thin Film for Micro-bolometer Application |
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| RU Guo ping,CAO Yong feng,LI Bing zong. Preparation and Characteristics of Vanadium Oxide Thin Film for Micro-bolometer Application[J]. Microfabrication Technology, 2002, 0(4): 45-53,65 |
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| Authors: | RU Guo ping CAO Yong feng LI Bing zong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vanadium oxide temperature coefficient of resistivity sputtering |
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