新型TDR—62型单晶炉即将诞生

陕西机械学院晶体生长设备研究所已在研制TDR～62型单晶炉,预计于87年投入运行。 炉将用于拉制φ4～5时硅单晶材料,它兼容硬轴和软轴两种形式,是我国当前单晶炉产品系统中又一代新型单晶炉。其特点是: (1)采用微机控制的先进技术和全新控制元件,使该产品的主要参数和性能接近或达到国际先进水平,并适合国情;