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| 半导体集成光学技术 | |
| 引用本文： | 刘式墉.半导体集成光学技术[J].半导体光电,1986(2). |
| 作者姓名： | 刘式墉 |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学系 |
| 摘 要： | 半导体集成光学器件,或者更广泛地说成半导体集成光电器件,愈来愈引人注目,这主要是由于它有利于: (1)降低成本和大批量生产; (2)高可靠性和小型化; (3)改善速度和噪声特性; (4)实现光学外差探测系统,光学开关系统和光学处理器等新的功能器件。目前,在半导体芯片上制造集成光电器件的可行性已由LD/FET,LD/HBT,PD/FET,LD/modulator等的研制成功而得到证 |
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