| Ti-Mo-N三元多层膜的结构与性能 |
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| 引用本文： | 胡社军,曾鹏,谢光荣,黄拿灿,吴起白.Ti-Mo-N三元多层膜的结构与性能[J].材料科学与工程学报,2000,18(3):31-34,30. |
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| 作者姓名： | 胡社军 曾鹏 谢光荣 黄拿灿 吴起白 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机械系,广东,广州,510643 |
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| 基金项目： | 广东省高教厅基金!项目 (970 0 32 )，三束材料改性国家重点实验室项目!(96 0 0 11) |
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| 摘 要： | 采用 Ti/ Mo复合靶 ,用多弧离子镀技术沉积了 Ti-Mo-N多元多层膜 ,并对其组织结构与性能进行了研究。结果表明 :在本试验条件下多元膜的结构形式为 (Ti,Mo) 2 N,最佳多层膜的结构形式为基体 / Ti/ Ti N/ (Tiy Mo1-y) N/ (Ti,Mo) 2 N,并具有较高的显微硬度、耐磨性和极低的孔隙率 ,在 80 0℃具有很好的抗氧化性能。在沉积过程中存在着多元合金膜层与复合靶的成分离析现象 ,这与靶材的结构有关。
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 Ti-Mo-N多元膜 多层膜 组织与性能 |
Microstructure and Properties of Ti-Mo-N Tenary Multi-layer Films |
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| HU She-jun,ZENG Peng,XIE Guang-rong,HUANG Na-can,WU Qi-bai.Microstructure and Properties of Ti-Mo-N Tenary Multi-layer Films[J].Journal of Materials Science and Engineering,2000,18(3):31-34,30. |
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| Authors: | HU She-jun ZENG Peng XIE Guang-rong HUANG Na-can WU Qi-bai |
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| Keywords: | multi arc ion plating Ti Mo N film multi layer film microstructure and properties |
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