波面数字干涉仪检测技术及其在光刻镜头生产中应用 |
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引用本文: | 苏学红.波面数字干涉仪检测技术及其在光刻镜头生产中应用[J].电子工业专用设备,1995,24(4):28-31. |
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作者姓名: | 苏学红 |
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作者单位: | 电子工业部第45研究所 |
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摘 要: | 移相式波面数字干涉仪是国际上八十年代出现的一种最先进的光学检测设备,它采用计算机图象处理技术对干涉图形进行实时动态采样处理,从而实现了光学面形的定量测量和形象化图形显示。本文介绍了我所用QGY—1型激光球面干涉仪改造成的移相式激光波面数字干涉仪,在光刻镜头生产中的应用。
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关 键 词: | 波面数字干涉仪,检测技术,应用 |
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