| M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计 |
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| 引用本文： | 吴波,陈才和,张晓玲,崔宇明,张燕君,钟娟娟. M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计[J]. 光电子．激光, 2004, 15(11): 1263-1266 |
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| 作者姓名： | 吴波 陈才和 张晓玲 崔宇明 张燕君 钟娟娟 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(40274047) |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。
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| 关 键 词： | 微光电机械系数 加速度计 M-Z干涉 结构设计 |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)11-1263-04 |
Structure Design of M-Z Interference MOEMS Accelerometer |
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| WU Bo. Structure Design of M-Z Interference MOEMS Accelerometer[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2004, 15(11): 1263-1266 |
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| Authors: | WU Bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-optotical-electro-mechanical systems(MOEMS) accelerometer M-Z interference structure design |
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