| 聚酰亚胺基纳米氟碳膜的结构和性能研究 |
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| 引用本文： | 张浴晖,齐宏进. 聚酰亚胺基纳米氟碳膜的结构和性能研究[J]. 青岛大学学报(工程技术版), 2003, 18(4): 63-66 |
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| 作者姓名： | 张浴晖 齐宏进 |
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| 作者单位： | 青岛大学化工学院,山东,青岛,266071 |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射法，以聚四氟乙烯为靶材，在聚酰亚胺(PI)薄膜上沉积纳米氟碳膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)观察了纳米氟碳膜的表面形貌。通过优化放电条件，在PI薄膜上得到了一层致密均匀的由纳米粒子组成的氟碳膜。利用X射线光电子能谱(XPS)研究了膜的结构及其对放电条件的依赖性。结果表明：这种纳米氟碳膜由-CF3，-CF2，-CF-和-C-4个组分构成。水接触角的测量数据表明：在PI基底上沉积纳米氟碳膜可以提高其憎水性能。
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺基纳米氟碳膜 结构 射频磁控溅射 表面形貌 接触角 憎水性能 |
| 文章编号： | 1006-9798(2003)04-0063-04 |
| 修稿时间： | 2003-09-24 |
STUDY ON STRUCTURE AND PROPERTIES OF FLUOROCARBON FILM ON PI SUBSTRATE |
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| ZHANG Yu-hui,QI Hong-jin. STUDY ON STRUCTURE AND PROPERTIES OF FLUOROCARBON FILM ON PI SUBSTRATE[J]. Journal of Qingdao University(Engineering & Technology Edition), 2003, 18(4): 63-66 |
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| Authors: | ZHANG Yu-hui QI Hong-jin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RF magnetron sputtering nano-sized fluorocarbon film morphology surface structure contact angle |
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