化学气相催化法生长碳纳米管及其器件的原位制备 |
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作者姓名: | 陈寒元 王太宏 江南 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所,北京100080 |
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摘 要: | 本系统地讨论了化学气相催化法制备碳纳米管的工艺过程。讨论了化学气相催化法原位制备碳纳米管器件的技术,即先制备电极和催化剂结构,然后在电极上原位生长碳纳米管。与目前通常采用的先制备碳纳米管,然后超声分离、沉积,再光刻、蒸发制备电极的方法相比,该方法可以减少后处理工艺对碳纳米管结构带来的损伤,具有潜在的优势。
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关 键 词: | 碳纳米管 化学气相催化法 原位制备纳米器件 |
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