| WinCC在MOCVD系统中的应用 |
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| 引用本文： | 黄军荣,过润秋. WinCC在MOCVD系统中的应用[J]. 自动化与仪表, 2007, 22(1): 57-59 |
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| 作者姓名： | 黄军荣 过润秋 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金;陕西省科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 针对所研制的MOCVD设备，对其系统控制原理进行了分析。介绍了WinCC监控界面的设计与实现，并利用C脚本和VB全局脚本解决了多变量传榆导致的PLC内存消耗大、通讯速度慢、画面更新延迟等现象，实现了批量修改和以日志方式保存数据的功能。
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| 关 键 词： | 组态软件WinCC 半导体材料生长 C脚本 VB脚本 |
| 文章编号： | 1001-9944（2007）01-0057-03 |
| 修稿时间： | 2006-06-162006-11-02 |
Application of WinCC in MOCVD |
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| HUANG Jun-rong,GUO Run-qiu. Application of WinCC in MOCVD[J]. Automation and Instrumentation, 2007, 22(1): 57-59 |
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| Authors: | HUANG Jun-rong GUO Run-qiu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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