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| 一种使用改进力敏差放的压力传感器设计 | |
| 引用本文： | 李晶晶,岳瑞峰,刘理天.一种使用改进力敏差放的压力传感器设计[J].仪器仪表学报,2002,23(Z2):595-596. |
| 作者姓名： | 李晶晶 岳瑞峰 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 摘 要： | 设计了一种使用力敏差分放大器作为力敏元件的压力传感器.通过将差分放大器的输入对管和负载对管同时放在应力膜片上,可以在不增加电路面积、功耗与复杂度的情况下进一步增加传感器的灵敏度. |
| 关 键 词： | 压力传感器 力敏差分放大器 压阻效应 MOS场效应晶体管 |
Pressure Sensor using Revised Stress Sensitive Differential Amplifier |
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