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| 大变革中的半导体清洗设备市场 | |
| 作者姓名： | 绍莹 |
| 摘 要： | 2000年世界半导体生产设备市场较上年增长50%,达到476.6亿美元。伴随着多层布线的发展,对CMP(化学机械抛光)设备的投资特别火热,预料到2002年金属用CMP设备市场将达到13.7亿美元。1995年CMP设备的世界市场为157亿日元(1美元约等于107日元),而1996年扩大约1.5倍,达到399亿日元,1997年继增61%,成长各645亿日元。1998年中国台湾厂家引入了金属及STI(浅沟道隔离)工艺,但因日本、韩国等的低迷,致使CMP设备下降4%,为623亿日元。1999年由于PC市场扩大,半导体景气复苏,设备投资增加,比上年大幅增长50%,达到了932亿日元,2000年估计更将窜升93… |
| 关 键 词： | 半导体清洗设备 半导体市场 电子产业 |
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