| 微机电系统的微波应用 |
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| 引用本文： | 林守远,顾墨琳.微机电系统的微波应用[J].微波学报,2000,16(4):415-422. |
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| 作者姓名： | 林守远 顾墨琳 |
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| 作者单位： | 南京电子技术研究所，南京 210013 |
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| 摘 要： | 介绍微机系统（ＭＥＭＳ）这一新兴技术及其在微波和毫米波领域的应用。给出几种典型部件示例。
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| 关 键 词： | 微机电系统 可变电容 微波 毫米波 可调滤波器 |
| 修稿时间： | 1999年12月25 |
MEMS and Its Application in Microwave Field |
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| LIN Shouyuan,GU Molin.MEMS and Its Application in Microwave Field[J].Journal of Microwaves,2000,16(4):415-422. |
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| Authors: | LIN Shouyuan GU Molin |
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| Abstract: | MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), a developing technology in the microwave and millimeter wave field is introduced in this paper. Some typical illustrations for the application are given also. |
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| Keywords: | MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) |
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