| MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证 |
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| 引用本文： | 李平,石云波,朱正强,杜康,刘俊.MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证[J].传感技术学报,2010,23(3):388-392. |
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| 作者姓名： | 李平 石云波 朱正强 杜康 刘俊 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(50535030) |
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| 摘 要： | 由于设计的MEMS高g加速度传感器固有频率低,导致测试过程中出现谐振现象。本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率的影响,提出了一种优化固有频率的方法。该方法通过减小质量块质量和优化梁厚度与长度的比例来调整传感器的固有频率,并通过理论仿真验证了该结构的固有频率从330 kHz提高到550 kHz,然后利用动态测试系统对优化前后的高g加速度传感器分别在20 000gn和150 000gn作用下测试输出信号。实验表明该优化方法提高了该类传感器结构的固有频率,明显消除了测试中的谐振现象。
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| 关 键 词： | MEMS高g加速度传感器 固有频率 优化 谐振现象 动态测试 |
An Optimizition Method for Natural Frequecy of MEMS High-g Accelerometer |
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| LI Ping,SHI Yunbo,ZHU Zhengqiang,DU Kang,LIUJun.An Optimizition Method for Natural Frequecy of MEMS High-g Accelerometer[J].Journal of Transduction Technology,2010,23(3):388-392. |
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| Authors: | LI Ping SHI Yunbo ZHU Zhengqiang DU Kang LIUJun |
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| Affiliation: | National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology;North University of China;Taiyuan 030051;China |
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| Abstract: | ecause of the low natural frequency of the MEMS high-g acceleration sensors,the resonance phenomenon occurs during the test.In the text,the parameters of the special structure of the sensor on the impact of the natural frequency is analyzed,and a method of optimizing the natural frequency is put forward.The main point is to reduce the quality of proof mass and optimize the ratio of the thickness and length of the beam,which optimizes the natural frequency of the sensor.The optimizition method was validated ... |
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| Keywords: | MEMS high-g accelerometer natural frenquency optimization resonance phenomonon dynamic property test |
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