| 利用NiFeCr种子层提高AMR薄膜信噪比研究 |
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| 引用本文： | 李建伟,赵崇军,滕蛟,于广华. 利用NiFeCr种子层提高AMR薄膜信噪比研究[J]. 功能材料, 2013, 44(13): 1852-1855 |
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| 作者姓名： | 李建伟 赵崇军 滕蛟 于广华 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目 |
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| 摘 要： | NiFeCr种子层可以明显降低NiFe薄膜的低频噪声,提高信噪比。制备态下NiFeCr为种子层的NiFe薄膜的低频噪声比以Ta打底的NiFe薄膜的低频噪声下降10倍,250℃下保温2h退火后以Ta打底的NiFe薄膜的低频噪声因扩散而明显上升,而NiFeCr为种子层的NiFe薄膜的低频噪声则有小幅下降。电镜分析表明NiFeCr种子层与NiFe层形成良好的晶格匹配关系,可以基本实现NiFe完全外延式的生长。
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| 关 键 词： | 低频噪声 NiFeCr 种子层 退火 信噪比 |
Strongly suppressed 1/f noise and enhanced SNR in permalloy films using NiFeCr seeds layer |
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| LI Jian-wei , ZHAO Chong-jun , TENG Jiao , YU Guang-hua. Strongly suppressed 1/f noise and enhanced SNR in permalloy films using NiFeCr seeds layer[J]. Journal of Functional Materials, 2013, 44(13): 1852-1855 |
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| Authors: | LI Jian-wei ZHAO Chong-jun TENG Jiao YU Guang-hua |
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| Affiliation: | (School of Materials Science and Engineering,University of Science and Technology Beijing,Beijing 100083,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 1/f noise NiFeCr seeds layer annealing SNR |
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