基于线性驱动的空气静压导轨定位平台的静态偏载特性

针对现有定位平台精度较低和设计复杂等的问题,采用有限元差分法对一种新型气浮定位平台中的驱动装置进行了数值仿真分析,在Reynolds方程的控制下,通过理论分析动导轨在气膜间距变化下的运动机理,及在工作过程中产生一定偏载作用时得到驱动装置的承载力。研究结果表明:气膜间距的变化对承载力有相对明显的影响,动导轨的偏载对整个平台的承载力有较为明显的影响。可以为进一步研究气浮定位平台提供理论依据。