在硅衬底上制作人工网膜芯片

<正>据日本《O Plus E》杂志1993年第159期报道,日本三菱电机公司在硅衬底上研制成像人的眼睛那样可任意改变对光的灵敏度的“人工网膜芯片”。目前,这种芯片大都作在GaAs衬底上,而用硅衬底除了硅工艺很成熟外,还将提高对光反应的性能。目前正对器件的性能进行深入分析,并为器件实用化和提高集成度作努力。