| 等离子体刻蚀对CdTe太阳电池性能的影响 |
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| 引用本文： | 宋慧瑾,鄢强. 等离子体刻蚀对CdTe太阳电池性能的影响[J]. 光电子．激光, 2013, 0(2): 215-220 |
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| 作者姓名： | 宋慧瑾 鄢强 |
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| 作者单位： | 成都大学 工业制造学院,四川 成都 610106;成都金倍科技有限 公司,四川 成都 610041 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(60976052)和四川省教育厅青年科研基金(10ZB144)资助项目 (1.成都大学 工业制造学院,四川 成都 610106； 2.成都金倍科技有限 公司,四川 成都 610041) |
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| 摘 要： | 采用不同干法腐蚀条件下的CdTe薄膜制成器件, 通过I-V、C-V和光谱响应等测试 了电池性能参数。结果表明,溅 射时间太短和功率太小时不能完全去除氧化层,溅射时间过长和功率过高会对薄膜表面造成 损伤, 影响器件性能。 通 过选择器件性能较好的电池、 找出适合等离子束溅 射工艺的条件,所制成的电池转化效率 达 到10.99%;而湿法腐蚀所 制成器件的转化效率为 10.26%。由此可以认为,等离子束轰击溅射的 腐蚀方法较湿法腐蚀更适用于CdTe太阳电池的制备。
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| 关 键 词： | 等离子体 刻蚀 CdTe薄膜 太阳电池 |
| 收稿时间： | 2012-08-18 |
| 修稿时间： | 2012-09-26 |
Influence of plasma etching on the performance of CdTe solar cells |
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| SONG Hui-jin and YAN Qiang. Influence of plasma etching on the performance of CdTe solar cells[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2013, 0(2): 215-220 |
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| Authors: | SONG Hui-jin and YAN Qiang |
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| Affiliation: | College of Industrial and Manufacturing, Chengdu University, Chengdu 610064, China;Chengdu Jinbei Sci.& Tech.Co.,Ltd.,Chengdu 610041,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | plasma etching CdTe thin film solar cell |
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