| 基于滤波的准直光束漂移反馈补偿方法研究 |
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| 引用本文： | 李结安,谭久彬,崔继文.基于滤波的准直光束漂移反馈补偿方法研究[J].光电子．激光,2013(2):336-342. |
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| 作者姓名： | 李结安 谭久彬 崔继文 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080;哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080;哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080 |
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| 摘 要： | 针对光束漂移对超精密激光准直测量影响大且其 难以从实际测量信号中有 效提取的问题,提出一种基于滑动均值滤波的准直光束漂移反馈补偿方法。方法通过滑动均 值滤波器抑制干扰噪声影响,从实际微弱检测信号中有效提取出其中的光束漂移成分及其 变化趋势,并将其作为反馈量；进而利用压电偏转 镜对光束漂移量进行实时反馈补偿,以抑制其对激光准直测量稳定性的影响。实 验结果表明,经本文方法补偿的激光器出射光束在140s内1m准直距 离处,光束漂移量标准 差X方向从2.66×10－8 rad下降 到4.13×10－9 rad,Y方向从1.74×10－ 8 rad下降到3.97×10－9 rad,有效地提高 了激光准直测量光束的方向稳定性。
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| 关 键 词： | 激光准直 光束漂移 反馈补偿 滑动均值滤波 |
| 收稿时间： | 6/7/2012 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2012/8/20 0:00:00 |
Study on method of feedback compensation drift of collimation beam based on filt er |
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| LI Jie-an,TAN Jiu-bin and CUI Ji-wen.Study on method of feedback compensation drift of collimation beam based on filt er[J].Journal of Optoelectronics·laser,2013(2):336-342. |
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| Authors: | LI Jie-an TAN Jiu-bin and CUI Ji-wen |
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| Affiliation: | Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering,Harbin Inst itute of Technology,Harbin 150080,China;Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering,Harbin Inst itute of Technology,Harbin 150080,China;Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering,Harbin Inst itute of Technology,Harbin 150080,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser collimation beam drift feedback compensation moving average filter |
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